什么是成都高纯气体管道配管技术?所谓的高纯气体配管技术,是包括高纯供气系统的正确设计、阀门管件及附件的合理选择、管道施工、安装试验和测试等;是高纯气体供应系统的重要组成部分;是..高纯气体anquan稳定地输送到用气点,且符合设备使用要求的关键技术。
高纯气体管道工程应用领域
半导体行业中使用的电子特种气体,很多都是对人体有害的。比如,半导体制程工艺zui常见的特种气体:硅烷(SiH4)就具有自燃特性,一旦发生泄漏,它们就会与空气中的氧气剧烈反应并开始燃烧。再比如磷烷(PH3)和坤烷(AsH3)也具有剧毒性,任何轻微的泄漏都可能对人们的生命造成伤害。正是由于这些明显的危险,所以对于高纯气体供应系统设计的anquan性要求特别高。
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