成都六氟化鎢電子氣體(tǐ)介紹：

化學式 WF6

中(zhōng)文名稱 六氟化鎢

熔 點 2.3℃溶解性 溶于多數有機溶劑，和氫氟酸生(shēng)成H2[WF8]

密 度 相對密度（水=1）3.44（15℃） 穩定性 穩定

危險标記 6（有毒氣體(tǐ)）

六氟化鎢，無色氣體(tǐ)或淺黃色液體(tǐ)，固體(tǐ)爲易潮解的白(bái)色結晶，在潮濕空氣中(zhōng)冒煙。主要用作電子工(gōng)業中(zhōng)金屬鎢化學氣相沉積(CVD)工(gōng)藝的原材料, 用它制成的WSi2 可用作大(dà)規模集成電路(LSI)中(zhōng)的配線材料,  另外(wài)還可以作爲半導體(tǐ)電極的原材料、氟化劑、聚合催化劑及光學材料的原料等。

在鎢的氟化物(wù)中(zhōng)，WF6是穩定并被工(gōng)業化生(shēng)産的品種。主要用途是在電子工(gōng)業中(zhōng)作爲金屬鎢化學氣相沉積(CVD)工(gōng)藝的原材料，特别是用它制成的WSi2可用作大(dà)規模集成電路(LSI)中(zhōng)的配線材料。通過混合金屬的CVD工(gōng)藝制得鎢和铼的複合塗層，可用于X-射線的發射電極。此外(wài)，WF6在電子行業中(zhōng)還主要用作半導體(tǐ)電極和導電漿糊等的原材料。

WF6還有許多非電子方面的應用，例如通過CVD技術使鎢在鋼的表面上生(shēng)成堅硬的碳化鎢可用來改善鋼的表面性能。它還可用于制造某些鎢制部件，如鎢管和坩埚等。此外(wài)，WF6還被廣泛用作氟化劑、聚合催化劑及光學材料的原料等。